每经AI快讯,有投资者在投资者互动平台提问:据说钙钛矿技术取得最新突破,请问贵公司MEMS工艺是否可以制作MEMS微型纳米电机?
赛微电子(300456.SZ)6月30日在投资者互动平台表示,公司的MEMS产品线宽为微米级;严格意义上的“纳米电机”(所有关键特征尺寸均在100纳米以下)主要使用NEMS技术制造,而非标准的MEMS工艺。我司掌握的MEMS工艺可以根据客户需求支持制造部分纳米级特征的微电机。
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